1月21日消息，ASML客户交付了第一台 YieldStar 385 系统，可以满足3纳米制程的要求。与以前的系统相比，主要的增强功能包括更快的工作台和更快的波长切换，这可以实现高精度的套准测量和使用多个波长的设备匹配。
ASML 交付第一台 YieldStar 385 系统，可满足 3 纳米制程要求
2021-01-21
1月21日消息，ASML客户交付了第一台 YieldStar 385 系统，可以满足3纳米制程的要求。与以前的系统相比，主要的增强功能包括更快的工作台和更快的波长切换，这可以实现高精度的套准测量和使用多个波长的设备匹配。
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